【离子镀的历史】: 真空离子镀膜技术是近几十年才发展起来的一种新的镀膜技术。在离子镀技术兴起的40多年来取得了巨大的进步,我国也有将近30多年的离子镀研究进程。 【离子镀的原理】: 蒸发物质的分子被电子撞击后沉积在固体表面称为离子镀。蒸发源接阳极,工件接阴极,当通以三至五千伏高压直流电以后,蒸发源与工件之间产生辉光放电。由于 真空罩内充有惰性氩气,在放电电场作用下部分氩气被电离,从而在阴极工件周围形成一等离子暗区。带正电荷的氩离子受阴极负高压的吸引,猛烈地轰击工件表 面,致使工件表层粒子和脏物被轰溅抛出,从而使工件待镀表面得到了充分的离子轰击清洗。随后,接通蒸发源交流电源,蒸发料粒子熔化蒸发,进入辉光放电区并 被电离。带正电荷的蒸发料离子,在阴极吸引下,随同氩离子一同冲向工件,当抛镀于工件表面上的蒸发料离子超过溅失离子的数量时,则逐渐堆积形成一层牢固粘 附于工件表面的镀层。 【离子镀的优缺点】: 优点:膜层附着力好,膜层致密,具有绕度性能,能在形状复杂的零件表面镀膜。 缺点:离子镀的应用范围不广;膜与基体间存在较宽的过渡界面。会有气体分子吸附。 广东真空镀膜设备厂家。湖南真空镀膜设备维修店
真空镀膜真空溅射法】:真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展,溅射镀膜技术飞速发展,在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为:稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下,对阴极靶材料表面进行轰击,把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来,被溅射出来的粒子带有一定的动能,沿一定的方法射向基体表面,在基体表面形成镀层。特点为:镀膜层与基材的结合力强;镀膜层致密、均匀;设备简单,操作方便,容易控制。主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。湖南腾工米尼真空镀膜设备有限公司真空镀膜设备为什么会越来越慢?
【真空镀膜溅射种类】: 1、反应溅射:氧化物,氮化物作为沉积物质 现象:①:靶材分子分裂,其于工艺气体离子发生反应,形成化合物 ②:膜层性能改变 ③:靶材有可能中毒 2、二极溅射:二极溅射是一种经典的标准溅射技术,其中等离子体和电子均只沿着电场方向运动。 特征:①:无磁场 ②:溅射率低 ③:放电电压高(>500V) ④:镀膜底物受热温度极易升高(>500°C) 用途:主要用于金属靶材、绝缘靶材、磁性靶材等的溅射镀。 3、磁控溅射:暗区无等离子体产生,在磁控溅射下,电子呈螺旋形运动,不会直接冲向阳极。而是在电场力和磁场力的综合作用在腔室内做螺旋运动。同时获的能量而和工艺气体以及溅射出的靶材原子进行能量交换,使气体及靶材原子离子化,dada提高气体等离子体密度,从而提高了溅射速率(可提高10—20倍)和溅射均匀性。
【离子镀膜法之射频离子镀】: 射频离子镀(RFIP):利用电阻或电子束加热使膜材气化;依靠射频等离子体放电使充入的真空Ar及其它惰性气体、反应气体氧气、氮气、乙炔等离化。这种方法的特点是:基板温升小,不纯气体少,成膜好,适合镀化合物膜,但匹配较困难。可应用于镀光学器件、半导体器件、装饰品、汽车零件等。射频离子镀膜设备对周遭环境没有不利影响,符合现代绿色制造的工业发展方向。目前,该类型设备已经guang泛用在硬质合金立铣刀、可转位铣刀、焊接工具、阶梯钻、钻头、铰刀、油孔钻、车刀、异型刀具、丝锥等工具的镀膜处理上。 此外,离子镀法还包括有低压等离子体离子镀,感应离子加热镀,集团离子束镀和多弧离子镀等多种方法。真空镀膜机详细镀膜方法。
【光学镀膜的目的】: &反射率的提高或透射率的降低 &反射率的降低或透射率的提高 &分光作用:中性分光、变色分光、偏极光分光 &光谱带通、带止及长波通或短波通之滤光作用 &相位改变 &液晶显示功能之影显 &色光显示、色光反射、伪chao及有价证券之防止 &光波的引导、光开关及集体光路 a. 在膜层中,波的干涉结果,如R%, T%都是与膜质本身和两边界边的折射率率有关系,相位变化也是如此。 b. 由于干涉作用造成的反射率有时升高,有时反而降低,都要视磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,则反射率会提高(Ns为基底),若Nf锦成国泰真空镀膜设备怎么样?山西真空镀膜设备应用
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【真空镀膜之真空的概念】:“真空”是指在给定空间内低于一个大气压力的气体状态,也就是该空间内气体分子密度低于该地区大气压的气体分子密度。不同的真空状态,就意味着该空间具有不同的分子密度。在标准状态(STP:即0℃,101325Pa,也就是1标准大气压,760Torr)下,气体的分子密度为2.68E24/m3,而在真空度为1.33E&4Pa(1E&6Torr)时,气体的分子密度只有3.24E16/m3。完全没有气体的空间状态为Jue对真空。Jue对真空实际上是不存在的。湖南真空镀膜设备维修店